| Произношение | самодиффу́зией |
| Начальная форма | самодиффу́зия |
| Тип | нарицательное |
| Одушевленность | неодушевлённое |
| Склонение | 1-e склонение, на -ия |
| Род | женский |
| Число | единственное |
| Падеж | творительный |
сам — корень,
о — соединительная гласная,
диффуз — корень,
и — суффикс,
ей — окончание.